中科院IMR訂購愛思強BM系統(tǒng)用于碳納米管和石墨烯研究
德國愛思強股份有限公司9月18日宣布,接獲中國科學院金屬研究所(IMR)的BM系統(tǒng)訂單。訂單內(nèi)容為一套4英寸晶片規(guī)格的BM Pro PECVD系統(tǒng),用于碳納米管和石墨烯生產(chǎn)的研究。
該訂單于2012年第一季度接獲,系統(tǒng)將于2012年第三季度交付。愛思強的當?shù)胤⻊?wù)支持團隊將在該研究所的先進無塵室設(shè)施中安裝并調(diào)試這套沉積系統(tǒng)。
“我們對即將交付的新系統(tǒng)充滿期待,它將大大提升我們采用擁有特殊導電性和手性的石墨烯,控制合成碳納米管的能力。”中科院金屬研究所先進碳材料研究部的負責人成教授介紹說,“相信在愛思強BM系統(tǒng)協(xié)助下,我們將有能力生產(chǎn)高質(zhì)量的碳納米管,以及具有良好的結(jié)構(gòu)特性、均勻一致的石墨烯。”
據(jù)愛思強介紹,公司BM系統(tǒng)為碳納米管和石墨烯生產(chǎn)提供整套的解決方案。該系統(tǒng)可以在熱化學氣相沉積或等離子強化化學氣相沉積模式下工作,對控制碳納米材料的結(jié)構(gòu)非常重要,適用于幾乎所有種類和形態(tài)的碳納米管和石墨烯的生產(chǎn)。
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