藍(lán)寶石晶體多坩堝熔體生長(zhǎng)技術(shù)是一種生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體的熔體生長(zhǎng)技術(shù),它包括以下步驟:
(1)采用氧化鋁作為初始原料,經(jīng)干燥、燒結(jié)工藝處理,然后在0.5-5t/cm2的等靜壓下鍛壓成塊;
(2)將步驟(1)得到的壓塊料及經(jīng)過(guò)定向的籽晶裝入坩堝中,轉(zhuǎn)移至高溫下降爐內(nèi),整個(gè)系統(tǒng)密封后通電升溫,先后啟動(dòng)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵,抽真空至10-3-10-4Pa,當(dāng)爐溫到達(dá)1500-1800℃時(shí)充入惰性保護(hù)氣體,繼續(xù)升溫至設(shè)定溫度,所述設(shè)定溫度在2100-2250℃的范圍內(nèi);
(3)爐溫達(dá)到設(shè)定溫度后,保溫4-8小時(shí),通過(guò)調(diào)節(jié)爐膛溫度和坩堝位置,使原料及籽晶頂部熔化,實(shí)現(xiàn)接種生長(zhǎng),將晶體生長(zhǎng)的固液界面溫度梯度設(shè)定在10-50℃/cm的范圍內(nèi),坩堝下降速率控制在0.1-3.0mm/h之間;
(4)待晶體生長(zhǎng)結(jié)束后,以25-80℃/h的速度將爐溫降至室溫,對(duì)所生長(zhǎng)的晶體進(jìn)行退火處理。