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納米氧化鎢顆粒在半導(dǎo)體感測器的應(yīng)用

選用低維度納米氧化鎢顆粒作為半導(dǎo)體感測器的敏感材料,是因為它具備高純度、巨大的比表面積、微小的粒徑、均勻的分佈、清潔的表面、低松裝密度、易於分散以及卓越的氣體敏感性等特性。簡而言之,與傳統(tǒng)氣體敏感材料相比,採用納米WO3顆粒製備的氣敏材料在回應(yīng)速度上更快,選擇性更佳,且對環(huán)境的友好度更高,因此非常適合用於檢測酒精、二氧化氮等氣體。

中鎢線上氧化鎢圖片

中鎢線上氧化鎢圖片

半導(dǎo)體氣體感測器,通過檢測氣體在半導(dǎo)體表面發(fā)生的氧化還原反應(yīng)所引起的敏感元件電阻值變化來工作,是氣體感測器領(lǐng)域的常用類型,廣泛應(yīng)用於工業(yè)、化工、電子、電力、機(jī)床、石油等多個行業(yè)。

中鎢線上氧化鎢圖片

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其運作機(jī)制是這樣的:半導(dǎo)體器件被加熱至穩(wěn)定狀態(tài)後,當(dāng)氣體接觸到半導(dǎo)體表面並被吸附時,吸附分子會在表面自由擴(kuò)散並逐漸失去動能,部分分子蒸發(fā),而另一部分則因熱分解而牢固吸附。若半導(dǎo)體的功函數(shù)小於吸附分子的親和力,吸附分子會從器件中奪取電子成為負(fù)離子;反之,若半導(dǎo)體的功函數(shù)大於吸附分子的離解能,則吸附分子會向器件釋放電子形成正離子。當(dāng)氧化性氣體吸附到n型半導(dǎo)體(如納米氧化鎢)上時,或還原性氣體吸附到p型半導(dǎo)體上時,會導(dǎo)致半導(dǎo)體載流子數(shù)量減少,從而使電阻增大。

因此,作為n型半導(dǎo)體材料的納米氧化鎢,常被用於吸附氧化性氣體,如氧氣、二氧化氮和一氧化氮等。

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