WO3基O3氣體感測器是通過WO3與被測氣體O3接觸後表面電導發(fā)生變化進行檢測。眾所周知，O3已經被廣泛應用於消毒殺菌、汙水處理等方面。
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但是，空氣中的過量O3（相對體積分數(shù)超過10^-7時）會對人體會產生一定的危害，也會損壞衣物、建築材料等其他物質材料。所以，在某一些場景中，對空氣中的O3進行監(jiān)測是必要手段。WO3基O3氣體感測器就是在這種情況下研製出來的，其對空氣中的O3具有良好的敏感性能。有專家製備了Co摻雜的WO3基氣敏感測器，結果表明，Co摻雜後使WO3由n型變成了p型並提高了其在O3氣體中的電導。
