晶圓探測(cè)鎢針指的是專(zhuān)門(mén)用於積體電路晶圓測(cè)試用的探測(cè)針。晶圓測(cè)試是對(duì)晶片上的每個(gè)晶粒進(jìn)行針測(cè),在檢測(cè)頭裝上以鎢材料製成的鎢探針,與晶粒上的接點(diǎn)接觸,測(cè)試其電氣特性,不合格的晶粒會(huì)被標(biāo)上記號(hào),而後當(dāng)晶片依晶粒為單位切割成獨(dú)立的晶粒時(shí),標(biāo)有記號(hào)的不合格晶粒會(huì)被淘汰,不再進(jìn)行下一個(gè)制程,以免徒增製造成本。
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這意味著晶圓探測(cè)鎢針的好壞將在很大程度上影響到產(chǎn)出的積體電路的優(yōu)良率和效率。
鎢針是錐形的,經(jīng)過(guò)多次測(cè)試後必然會(huì)磨損,達(dá)到一定的程度,針頭必然粗到影響測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性,這時(shí)候就需要將鎢針替換掉,也就是說(shuō),鎢探針是晶圓測(cè)試過(guò)程中的耗材。