為了降低晶圓測試成本，晶圓探測鎢針的回收利用很重要。在晶圓測試中，錐形的鎢針經(jīng)過多次測試後開始磨損，導(dǎo)致針頭的直徑越變越大。此時，如果不將含鎢針的探測卡（晶圓測試的工具之一）換掉，會影響測試結(jié)果的準(zhǔn)確性；而換掉，則會增加成本。對此，有研究人員提出一種對這種探針卡的鎢針的處理方法。
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晶圓探測鎢針的回收利用
準(zhǔn)備一含（濃度為3％-7％）氫氧化鈉溶液的吸附球（棉球）；將棉球接電源負(fù)極；準(zhǔn)備一棒絲；將棒絲接電源正極；將棉球與鎢針的針頭接觸，將棒絲與鎢針的針體接觸，從而對鎢針的針頭進(jìn)行腐蝕處理。其中，電源的電壓值在10-12伏之間。
