鎢鈮靶材具有高強(qiáng)度、高硬度、耐磨、耐腐蝕和良好耐熱性能等特點(diǎn)，因而廣泛應(yīng)用于高壓、高轉(zhuǎn)速、高溫、腐蝕性介質(zhì)等工作環(huán)境。然而，在濺射過程中，靶材的邊緣處會(huì)留有濺射産生的顆粒物，而這些顆粒物一旦剝落，不僅會(huì)影響濺射環(huán)境，還降低産品質(zhì)量。爲(wèi)了解決這個(gè)問題，現(xiàn)有技術(shù)對該靶材的部分非濺射區(qū)域進(jìn)行了改性，即經(jīng)過噴砂的部分的表面較粗糙，更容易吸附顆粒物，以減低剝落概率。
鎢鈮靶材噴砂處理的具體過程如下：
（1）製備靶材
用鎢粉和鈮粉作爲(wèi)原材料，然後裝入混料機(jī)進(jìn)行混合，後將混合粉裝入管狀橡膠模套內(nèi)，再用冷等靜壓機(jī)進(jìn)行壓制成型得到靶材坯體，靶材坯體經(jīng)過燒結(jié)，冷卻，粗車，細(xì)磨等工序，即可得到所需要的靶材；
（2）改性處理
在物理氣相沉積設(shè)備的鍍膜室裝入合金陰極靶材，然後將立方氮化硼微粉放入滾筒式沉積臺(tái)；關(guān)閉鍍膜室門，設(shè)定氣相沉積參數(shù)，進(jìn)行物理氣相沉積鍍膜；將鍍膜後的立方氮化硼微粉在真空熱處理爐中進(jìn)行熱處理，即可得到表面金屬化改性的鎢鈮靶材。
注意：物理氣相沉積過程的參數(shù)設(shè)定爲(wèi)：預(yù)抽本底真空至3.0×10-3Pa以下，通入氦氣，鍍膜過程中濺射氣壓設(shè)定在1～5Pa；樣品加熱溫度爲(wèi)150～250℃；靶材功率密度範(fàn)圍爲(wèi)10～25W/cm2；滾筒式沉積臺(tái)的轉(zhuǎn)速爲(wèi)20～35r/min；振動(dòng)系統(tǒng)的振動(dòng)頻率爲(wèi)15～40Hz；鍍膜時(shí)間爲(wèi)5～10h。步驟（2）中熱處理是在真空下進(jìn)行的，真空度可控制在1×10-5～1×10-3Pa的範(fàn)圍內(nèi)，熱處理溫度設(shè)定在500～700℃的範(fàn)圍內(nèi)，熱處理保溫時(shí)間設(shè)定爲(wèi)50～80min，隨爐冷卻。
