三氧化鎢（WO3）是一種n型寬禁帶半導(dǎo)體材料，具有電致發(fā)光等性能，能用來(lái)製作電阻元件。三氧化鎢氣敏感測(cè)器是一種將檢測(cè)到的氣體成分和氣體濃度轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的感測(cè)器。
三氧化鎢基氣敏感測(cè)器，具有靈敏度高、回應(yīng)速度快、成本低等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用有害、有毒、易燃、易爆等氣體進(jìn)行檢測(cè)和檢驗(yàn)。
三氧化鎢圖片
例如：WO3與被測(cè)氣體（NOx、H2、CO、NH3、C2H5OH等）中時(shí)，從空氣中吸附的氧作為一種電子的受主態(tài)處?kù)禬O3材料的禁帶，氣體在其表面的反應(yīng)導(dǎo)致了受主態(tài)在部分表面覆蓋度的變化，從而引起了電導(dǎo)率的變化。
三氧化鎢氣敏感測(cè)器的生產(chǎn)工藝有溶膠凝膠法、真空熱蒸法、脈衝鐳射沉積、絲網(wǎng)印刷等。
氣敏感測(cè)器圖片
目前，環(huán)境空氣品質(zhì)已經(jīng)引起了人們的廣泛關(guān)注。為了保護(hù)和改善環(huán)境提高空氣品質(zhì)，人們迫切地需要研發(fā)高靈敏度、低成本、易維護(hù)的氣體感測(cè)器，從而有效地對(duì)有害、有毒、易燃、易爆等氣體進(jìn)行檢測(cè)和檢驗(yàn)，化學(xué)氣感測(cè)器因此成為目前研究的熱點(diǎn)?；瘜W(xué)氣體感測(cè)器種類(lèi)很多，其中金屬氧化物半導(dǎo)體氣體感測(cè)器由於具有靈 敏度高、回應(yīng)快、成本低等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛研究。
從英國(guó)開(kāi)始第一次工業(yè)革命開(kāi)始，工業(yè)化就對(duì)環(huán)境空氣品質(zhì)造成嚴(yán)重的破壞。近些年來(lái)，人們保護(hù)環(huán)境的意識(shí)不斷提高，對(duì)空氣品質(zhì)的要求也變高了，除了要改善空氣品質(zhì)之外，也對(duì)有害、有毒、易燃、易爆等氣體進(jìn)行檢測(cè)和檢驗(yàn)。三氧化鎢氣敏感測(cè)器因具有靈敏度高、回應(yīng)快、成本低等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛應(yīng)用。
