1、什麼是六氟化鎢？
六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride）為氟與鎢形成的無(wú)機(jī)化合物，化學(xué)式WF6。常溫常壓下為無(wú)色氣體、有毒、具腐蝕性的氣體，溶於多數(shù)有機(jī)溶劑，密度約13g/L（約為空氣的11倍）。它CAS登錄號(hào)為：7783-82-6，EINECS號(hào)為：232-029-1。
2、六氟化鎢有什麼物理化學(xué)性質(zhì)？
（1）它是一種密度最大的氣體，分子量為297.830，熔點(diǎn)為2.3°C，幾乎能夠和所有金屬（除了金和鉑）反應(yīng)。
（2）它遇水分解，在空氣中被潮氣分解而強(qiáng)烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢。
（3）它還是一種強(qiáng)氟化劑，除鎳合金和不銹鋼外，在室溫下能使許多金屬氟化；在乾燥狀態(tài)時(shí)對(duì)玻璃腐蝕較弱，但在濕氣中能迅速反應(yīng)；與離子型鹵化物反應(yīng)可形成配位化合物，在高溫下可被氫還原為鎢。
六氟化鎢圖片
3、六氟化鎢如何生產(chǎn)？
它通常是由氟氣和鎢粉在350至400°C下直接反應(yīng)而成，反應(yīng)式為：W+3F2→WF6
反應(yīng)產(chǎn)生的氣態(tài)產(chǎn)物通過(guò)蒸餾與常見(jiàn)雜質(zhì)WOF4分離。在直接氟化的一種變體中，將金屬置於加熱的反應(yīng)器中，略微加壓至1.2至2.0psi（8.3至13.8kPa），把恒定流量WF6注入到少量氟氣中。
反應(yīng)中氟氣可以被替換成ClF、ClF3或BrF3。另一種製備WF6方法是三氧化鎢（WO3）和HF、BrF3或SF4的反應(yīng)。WF6也可以從六氯化鎢開(kāi)始合成，反應(yīng)式為：
WCl6+6HF→WF6+6HCl
WCl6+2AsF3→WF6+2AsCl3
WCl6+3SbF5→WF6+3SbF3
六氟化鎢圖片
4、六氟化鎢有什麼注意事項(xiàng)？
WF6是腐蝕性極強(qiáng)的化合物，會(huì)攻擊任何組織。WF6和濕氣反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生氫氟酸，所以WF6儲(chǔ)存容器有聚四氟乙烯墊圈。
5、六氟化鎢有什麼用途？
WF6主要應(yīng)用於半導(dǎo)體工業(yè)的化學(xué)氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。半導(dǎo)體器件製造行業(yè)通常用WF6化學(xué)氣相沉積來(lái)形成鎢膜。
