鎢靶材又稱爲(wèi)鎢濺射靶材，是一典型的純鎢製品，具有純度高，熔點高，密度大，偏轉(zhuǎn)力度高，熱化學(xué)穩(wěn)定性良好，電阻低，無毒和無放射性等特性，廣泛應(yīng)用于平面顯示器、太陽能電池、集成電路、汽車玻璃、醫(yī)療設(shè)備等産品中。專利號爲(wèi)CN102513789A的研究者提供一種鎢靶材的製作方法，具體步驟如下：
鎢靶材圖片
提供鎢靶材坯料；對坯料表面進(jìn)行機(jī)械加工；將機(jī)械加工後的坯料放入真空包套幷抽真空，抽真空步驟是通過脫氣管完成的；對真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行鍛造；對鍛造後的真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行壓延；壓延完後，進(jìn)行冷卻幷去除真空包套即可。
該生産技術(shù)的注意事項：
1）所述抽真空後，還需對真空包套進(jìn)行第一次熱處理的步驟：進(jìn)行至溫度爲(wèi)200°C?500°C後，進(jìn)行保溫步驟，加熱及保溫過程中，持續(xù)抽真空使真空包套內(nèi)的真空度至少爲(wèi)10^-3Pa，之後進(jìn)行對真空包套內(nèi)的鎢靶材坯料進(jìn)行鍛造步驟。
2）對真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行鍛造步驟之前還需對坯料進(jìn)行第二次熱處理。第二次熱處理的溫度900°C?1500°C，幷在此溫度下保溫1h?5h。
3）對真空包套內(nèi)的鎢坯料進(jìn)行鍛造步驟之後和對鍛造後的真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行壓延步驟之前，還包括對真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行第三次熱處理。第三次熱處理的溫度900°C?1500°C，幷在此溫度下保溫0.8h?1h。
鎢靶材圖片
與現(xiàn)有技術(shù)相比，該生産方法具有以下優(yōu)點：不需要模具，可避免在空氣中對坯料進(jìn)行加工延展時出現(xiàn)裂縫和表面易氧化的問題，能夠製作出內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)均勻，晶粒大小符合濺射靶材要求的鎢靶材，而且具有易加工、廢品率低的優(yōu)點。
