鎢針是以難熔金屬鎢粉爲(wèi)主要原料，鎳粉或鐵粉爲(wèi)輔助材料的一種合金産品；是鎢棒通過(guò)拉拔機(jī)械加工，製成所需要尺寸和形狀的物體，是電子微探針中一種常用的探針材料。
清華大學(xué)微電子所EPS4型探針臺(tái)
電子微探針是結(jié)合運(yùn)用電子顯微鏡技術(shù)和X射綫分光技術(shù)的電子光學(xué)式分析儀器，主要利用X射綫熒光進(jìn)行定性和定量分析，廣泛用于礦物、冶金、機(jī)械、電子和生物學(xué)等領(lǐng)域，尤其適用于對(duì)合金的顯微組織和相成分的研究分析。
使用鎢針做探針材料的優(yōu)勢(shì)在于提高電子光學(xué)式分析儀器的靈敏度、穩(wěn)定性、精確性和準(zhǔn)確性等。
具體來(lái)說(shuō)，鎢針因具有比其他金屬探針更高的熔點(diǎn)（3422℃）和更好的耐高溫性能，而可以在高溫的條件下穩(wěn)定工作，同時(shí)能承受得了較高的電流密度和能量密度，有利于提高探針的靈敏度和穩(wěn)定性。
鎢針因具有很好的化學(xué)穩(wěn)定性和耐腐蝕性，即對(duì)氧氣、水蒸氣和其他氣體不敏感，以及不易與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的現(xiàn)象，而有利于提高探針的精確性和準(zhǔn)確性，以及降低更換新探針的頻率。
中鎢在綫鎢針圖片
鎢針因具有高密度、小體積、高強(qiáng)度、良好剛性、不易變形或折斷的優(yōu)點(diǎn)，而有利于探針與樣品之間距離的調(diào)整，同時(shí)有利于延長(zhǎng)探針材料的使用壽命。
另外，鎢針由于直徑較小，通常在0.1-1微米之間，而方便操作，可以使探針在微小的區(qū)域進(jìn)行分析，尤其適合于納米級(jí)別的材料表面分析。
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