六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由過渡金屬鎢元素和活潑非金屬氟元素組成的一種無色氣體，是用于微電子學(xué)生産過程中鎢的化學(xué)蒸氣沉積的一種氣源，具有較大的密度、較強的腐蝕性和毒性等特點，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的化學(xué)氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。然而，當(dāng)前的生産技術(shù)卻很難生産出高純度WF6。
高純六氟化鎢圖片
爲(wèi)了製備出超高純度（99.9999%）且製造費用較低的六氟化鎢産品，專利號爲(wèi)CN1281823A的研究者提出一種新的生産方法，具體步驟如下：
先將一定量的粗六氟化鎢引入一個蒸發(fā)過程，用以分離成爲(wèi)一定量的含有揮發(fā)性雜質(zhì)的WF6和一定量的非揮發(fā)性的金屬雜質(zhì)；然後，將該一定量的含有揮發(fā)性雜質(zhì)的WF6通過一個氣相吸附過程，用以分離成爲(wèi)一定量的半粗WF6産品和一定量的作爲(wèi)被吸附殘餘物的氟化氫；最後，將該一定量的半粗WF6送入一個UHP氣體鼓泡系統(tǒng)，用以分離爲(wèi)非揮發(fā)的高純六氟化鎢産品。
高純六氟化鎢圖片
值得一提的是，粗六氟化鎢一般是純度爲(wèi)99%的WF6，且含有大于1ppmv的氟化氫。另外，UHP氣體鼓泡系統(tǒng)在溫度高于3℃，壓力大于0.5atm下操作，采用脈衝吹掃程序。
該生産技術(shù)的純化是基于蒸發(fā)、氣相活性吸附系統(tǒng)和鼓泡系統(tǒng)的結(jié)合。蒸發(fā)是爲(wèi)了從粗六氟化鎢中除去非揮發(fā)性殘餘物。采用的氣相反應(yīng)性吸附床是爲(wèi)了從WF6中除去氟化氫和氟化矽雜質(zhì)。采用的鼓泡系統(tǒng)是爲(wèi)了從産品中除去揮發(fā)性雜質(zhì)。
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