與六氯化鎢（WCl6）一樣，六氟化鎢也是由過渡金屬鎢元素和鹵族元素組成的一種化合物，均具有良好的物理化學(xué)性質(zhì)，廣泛應(yīng)用于化工領(lǐng)域。但是，二者在外觀、性質(zhì)、生産方法和具體用途上存在較大區(qū)別，例如，六氯化鎢是一種帶有藍(lán)紫色的黑色結(jié)晶，而六氟化鎢在常溫常壓下爲(wèi)淡黃色液體，其固態(tài)爲(wèi)易潮解的無色結(jié)晶，氣態(tài)爲(wèi)無色。注：鹵族元素是指周期表中的ⅦA族元素，包括氟、氯、溴、碘、砹等；其中氟位于第二周期VII族，比氯元素活潑，而氯位于第三周期VII族。
從化學(xué)成分上看，六氟化鎢是由1個鎢原子和6個氟元素組成的一種無機(jī)物，英文名爲(wèi)Tungsten Hexafluoride或Tungsten Fluoride，化學(xué)式爲(wèi)WF6，分子量爲(wèi)297.92，CAS號爲(wèi)7783-82-6，EINECS登錄號爲(wèi)232-029-1。
理化性質(zhì)方面，六氟化鎢的外觀爲(wèi)淡黃色液體、無色晶體或無色氣體，空氣中不燃燒，熔點約2.5℃，沸點約17.5℃，液體密度約3441kg/m3，氣體密度約12.7kg/m3，相對密度約9.96kg/m3，臨界溫度約169.8℃，臨界壓力約4265.8kPa，臨界密度約 1310kg/m3，壓縮係數(shù)（50℃，10kPa）約0.997，蒸氣壓（-20℃）約14.186kPa，蒸發(fā)熱約87.9745kJ/kg，升化熱約122.5459kJ/kg。
另外，六氟化鎢還可溶于大多數(shù)有機(jī)溶劑，并使它們著色（苯、環(huán)己烷爲(wèi)紅色，乙醚爲(wèi)褐紫色，乙醇爲(wèi)無色，等等），還具有較強(qiáng)的吸濕性、氧化性和腐蝕性，能腐蝕除金和鉑外的所有金屬以及潮濕條件下的玻璃。值得一提的是，WF6的毒性主要是由氟引起的，水解産物氟化氫強(qiáng)烈刺激皮膚、眼和呼吸道粘膜，還損傷肝、腦神經(jīng)系統(tǒng)以及骨胳和牙齒。
高純六氟化鎢的生産步驟：先將粗WF6進(jìn)行蒸發(fā)，然後將含有揮發(fā)性雜質(zhì)的WF6進(jìn)行氣相吸附，得到半粗WF6産品，最後將半粗WF6送入UHP氣體鼓泡系統(tǒng)，除去揮發(fā)性雜質(zhì)，即可得到所需要的産品
六氟化鎢主要用途：WF6是一種強(qiáng)氟化劑，可用于氣相沉積法制鎢膜；在微電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相澱積矽化鎢或鎢，以製作低電阻、 高熔點的互連綫。
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