鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜是一種重要的光電功能材料，因具有較高的發(fā)光效率，而廣泛應(yīng)用于電致發(fā)光器件中。該發(fā)光薄膜的發(fā)光性能除了受鈰、鋇和鎂含量的影響之外，還受生産工藝及工藝參數(shù)的影響。由于當(dāng)前生産技術(shù)欠佳，導(dǎo)致所製成的該發(fā)光薄膜的發(fā)光效率較低，而且操作複雜，成本高。
鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜圖片
爲(wèi)了彌補(bǔ)鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜現(xiàn)有生産技術(shù)的不足，專利號(hào)爲(wèi)CN103534332B的研究者提出了一種新的生産方法，具體操作如下：將氧化鎂（Mg0）、氧化鋇（Ba0）、三氧化鎢（WO3）及三氧化二鈰（Ce203）混合，燒結(jié)形成濺射靶材；進(jìn)行磁控濺射，形成鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜前體；將該鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜前體進(jìn)行退火處理，得到鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜。
鎢酸鋇圖片
該生産技術(shù)的注意事項(xiàng)包括：1）氧化鎂的質(zhì)量百分含量爲(wèi)0.2%~10%，氧化鋇的質(zhì)量百分含量爲(wèi)0.2%~30%、三氧化二鈰的質(zhì)量百分含量爲(wèi)0.02%~0.6%，餘量爲(wèi)三氧化鎢；2）燒結(jié)步驟中溫度爲(wèi)900~1300℃；3）濺射步驟條件爲(wèi)：襯底和靶材距離爲(wèi)50~100mm、襯底溫度爲(wèi) 250℃~750℃、氫氣和惰性氣體混合氣體爲(wèi)工作氣體，氣體流量15~30sccm、壓強(qiáng)0.2~4.5Pa；4）退火的溫度爲(wèi)500C~800℃，時(shí)間爲(wèi)1-3小時(shí)。
利用該生産技術(shù)製備的鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜具有較好的發(fā)光性能，在紅光區(qū)和藍(lán)光區(qū)有較強(qiáng)的發(fā)光峰；該方法具有操作簡單、成本低廉，適于工業(yè)化生産的優(yōu)點(diǎn)。
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