納米藍(lán)色氧化鎢需要用到的檢測(cè)設(shè)備根據(jù)檢測(cè)方法的不同而有所不同，可能用到的有X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、光電子能譜儀和電子能量分析器等。
1.X射線衍射儀，利用X射線衍射原理研究物質(zhì)內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)的一種大型分析儀器，其基本構(gòu)造包含高穩(wěn)定度X射線源、樣品及樣品位置取向的調(diào)整機(jī)構(gòu)系統(tǒng)、射線檢測(cè)器和衍射圖的處理分析系統(tǒng)。
2.掃描電子顯微鏡，英文簡(jiǎn)稱SEM，主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。
3.透射電子顯微鏡，英文簡(jiǎn)稱TEM，可以看到在光學(xué)顯微鏡下無(wú)法看清的小於0.2um的細(xì)微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu)，就必須選擇波長(zhǎng)更短的光源，以提高顯微鏡的解析度。目前TEM的分辨力可達(dá)0.2nm。
4.光電子能譜儀主要由激發(fā)源、樣品電離室、電子能量分析器、電子檢測(cè)器、真空系統(tǒng)和資料處理系統(tǒng)等組成。激發(fā)源常用紫外輻射源和X射線源。使用紫外輻射源作為激發(fā)源的稱為紫外光電子能譜，使用X射線的稱為X射線光電子能譜，統(tǒng)稱為光電子能譜。
5.電子能量分析器，主要是用來(lái)測(cè)量由樣品表面發(fā)射出來(lái)的能量分佈，所得光電子譜是一幅電子流強(qiáng)度相對(duì)於動(dòng)能的圖。
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