旋轉(zhuǎn)鎢鉬複合靶材在使用過程中的利用率遠(yuǎn)大於鎢鉬平面靶材。它可以採(cǎi)用熱等靜壓技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn)，所得靶材的密度接近理論密度，其組織均勻性及純度等指標(biāo)均較優(yōu)。衡量靶材品質(zhì)的主要因素有純度、緻密度、晶粒尺寸及分佈等。
鎢鉬旋轉(zhuǎn)靶材的製作分為燒結(jié)法（輔以鍛造整形或熱等靜壓）、噴塗法和拉拔法。以燒結(jié)法生產(chǎn)得到的旋轉(zhuǎn)靶材可以達(dá)到比較好的性能，但長(zhǎng)度受到設(shè)備的局限較大；採(cǎi)用噴塗法生產(chǎn)旋轉(zhuǎn)靶材具有長(zhǎng)度不受限制的優(yōu)勢(shì)，但在密度、強(qiáng)度和厚度上有瓶頸。而拉拔法生產(chǎn)旋轉(zhuǎn)靶材在國(guó)外較成熟，值得我們借鑒。
中鎢線上科技有限公司可生產(chǎn)不同尺寸的旋轉(zhuǎn)鎢鉬複合靶材以配合不同型號(hào)的磁控濺射設(shè)備使用。
更多內(nèi)容請(qǐng)?jiān)L問：
http://www.tungsten.com.cn/big5/rotating-W-Mo-composite-target.html
