EDWARDS發(fā)布用于LED和化合物半導(dǎo)體制造的新型真空泵
7月3日，英國西薩塞克斯郡，克勞雷全球領(lǐng)先的高精真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干 泵，新設(shè)備經(jīng)過優(yōu)化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導(dǎo)體制造工藝。
iXH645H提供了非常高的氣流量，并能夠在最新一代LED制造設(shè)備所需的高負(fù)載下連續(xù)工作。iXH系列干泵采用先進的技術(shù)，最大限度地減少了維護需求，并實現(xiàn)正常運行時間最大化，有助于降低成本。
LED和化合物半導(dǎo)體制造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣。iXH645H業(yè)已進行設(shè)計優(yōu)化以滿足這些要求，具有出色的氫氣抽空性能并采用耐腐蝕設(shè) 計，包括一個保護泵密封物的專利氮氣吹掃屏障(purge barrier)。XH645泵具有高溫工作能力，有助于防止可能出現(xiàn)的磷化合物冷凝。
另外，iXH645H干泵先進的油潤滑和密封技術(shù)省去了定期保養(yǎng)需求，同時其散熱和電機設(shè)計可以防止出現(xiàn)過熱、電機過載或工作區(qū)域受限等問題。iXH645H泵的優(yōu)化溫度控制系統(tǒng)確保泵在約30分鐘啟動時間內(nèi)為工藝做好準(zhǔn)備。
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