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藍(lán)寶石長晶技術(shù)由美國、日本與俄羅斯掌握,其中美國與日本對(duì)長晶技術(shù)嚴(yán)密封鎖,其它國家難以取得關(guān)鍵技術(shù),因此臺(tái)灣與中國廠商的藍(lán)寶石長晶技術(shù)基本主要來自俄羅斯。
就技術(shù)別來看,美國Rubicon(RBCNUS)采用ES2技術(shù),在2009年公司宣布成功生長出“世界上最大的藍(lán)寶石晶體”,重量高達(dá)200kg,可用以切出12吋藍(lán)寶石基板,Rubicon宣稱ES2技術(shù)產(chǎn)品缺陷率低于其它技術(shù),美國CrystalSystems則采HEM熱交換法,日本廠商則多以拉晶法(CzochralskiMethod,CZ法)與導(dǎo)模法為主(Edge-definedFilm-fedGrowth;EFG法),俄羅斯以KY法(KyropulosMethod;又稱泡生法)為主,臺(tái)灣與中國廠商長晶技術(shù)主要源于俄羅斯KY法,俄羅斯長晶技術(shù)轉(zhuǎn)讓費(fèi)低,規(guī)�;a(chǎn)后成本仍具吸引力。
目前藍(lán)寶石基板仍多以CZ法與KY法為主流,藍(lán)寶石基板以2-4吋為主,基于成本因素與設(shè)備廠商開發(fā)進(jìn)程,預(yù)估短期轉(zhuǎn)至6-8吋機(jī)率仍較低。
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