氧化鎢NO2氣敏傳感器

20世紀(jì)以來(lái)，隨著工業(yè)技術(shù)的飛速發(fā)展，工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的各種氣體污染物大量增加。作為一種強(qiáng)毒性氣體，空氣中的二氧化氮(NO2)已逐漸對(duì)人類的健康和安全形成威脅，對(duì)NO2氣體的檢測(cè)也因此成為近年來(lái)研究的熱點(diǎn)。迄今為止，人們已經(jīng)開(kāi)發(fā)了多種氣敏材料，其中氧化鎢(WO3)被認(rèn)為是最有潛力的NO2氣敏傳感材料。

多孔氧化鎢薄膜使是氧化鎢(WO3)通過(guò)采用直流磁控濺射法在Al2O3基底上淀積了一層金屬鎢薄膜而制備而成的，多孔氧化鎢的平均晶粒尺寸小，且表面疏松多孔,具備更大的比表面積。

因具有多孔氧化鎢的形貌和更小的晶粒尺寸，多孔氧化鎢對(duì)NO2表現(xiàn)出更高的靈敏度，更快的響應(yīng)恢復(fù)速度及更低的最佳工作溫度。即使工作在更低溫度下，多孔氧化鎢能表現(xiàn)出更好的恢復(fù)性能和更高的靈敏度。而且根據(jù)科學(xué)的氣體選擇性測(cè)試結(jié)果表明：多孔氧化鎢薄膜對(duì)NO2具備良好的選擇性。由于多孔氧化鎢具有上述的兩種特性，因此多孔氧化鎢被認(rèn)為是最合適的NO2氣敏傳感材料。