多孔氧化鎢薄膜制備

隨著工業(yè)發(fā)展，空氣中二氧化氮(NO2)含量增加，空氣中的二氧化氮(NO2)已經(jīng)逐步對人類的健康和安全造成影響，對NO2氣體的檢測也成為研究的熱點。多孔氧化鎢薄膜不僅對NO2具備良好的選擇性，而且具有更高的靈敏度，其多孔氧化鎢薄膜是一種較為合適的NO2氣敏傳感器。

多孔氧化鎢薄膜的制備方式也備受關(guān)注，其中直流磁控濺射法也是比較常見的一種制備方式。其主要流程為：首先采用直流磁控濺射法在Al2O3基底上淀積了一層金屬鎢薄膜；然后對其進行陽極氧化,通過在陽極氧化時引入快速熱處理工藝能成功延長了陽極氧化時間，實現(xiàn)了對多孔氧化鎢薄膜性能的改良。引入快速熱處理工藝能使氧化鎢薄膜具有相同的晶體結(jié)構(gòu)和晶粒尺寸，且表面形貌類似,腐蝕程度隨時間增加而加深，使得制備的氧化鎢薄膜不僅靈敏度高,恢復(fù)性能好，且具備良好的穩(wěn)定性。