鎢探針主要指的是采用純鎢或者錸鎢等鎢原料制成的具有高硬度、高彈性模量、較好的可靠性和機械穩(wěn)定性等特點的探針，應用于晶圓檢測以及LED、LCD等芯片檢測等。
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鎢探針有多種尖部形狀，比如，極銳尖、圓弧、平臺等形狀。而針尖范圍從微米級到納米級，針尖曲率半徑最小值可控為50nm，錐部光潔度可以達到Ra0.25以下，即幾乎可以達到鏡面要求。整根探針可整體或局部進行鍍鎳、錫、金等。尖部可以進行一定的處理，如彎折成型、開槽等。鎢探針的直徑范圍在0.076-1.2mm，長度范圍在15-300mm，針尖范圍在0.08-50mm。
