半導(dǎo)體傳感器之所以選用低維度納米氧化鎢顆粒來作為敏感材料，是因?yàn)樵擃w粒具有純度高、比表面積大、粒徑小、分布均勻、表面干凈、松裝密度低、易于分散、氣體敏感性優(yōu)異等優(yōu)點(diǎn)。更通俗地說，相對(duì)于傳統(tǒng)的氣體敏感材料而言，使用納米WO3顆粒制造的氣敏材料的響應(yīng)速度更快、選擇性能更好，且對(duì)生態(tài)環(huán)境更為友好，所以適合用來檢測(cè)酒精和二氧化氮等氣體。
半導(dǎo)體氣體傳感器是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化還原反應(yīng)導(dǎo)致敏感元件電阻值發(fā)生變化而制成的，是氣體傳感器中常用的一種類型，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、化工、電子、電力、機(jī)床、石油等多個(gè)領(lǐng)域中。
其工作原理是：當(dāng)半導(dǎo)體器件被加熱到穩(wěn)定狀態(tài)，在氣體接觸半導(dǎo)體表面而被吸附時(shí)，被吸附的分子會(huì)在物體表面自由擴(kuò)散，失去運(yùn)動(dòng)的能量，一部分分子被蒸發(fā)掉，另一部分殘留分子產(chǎn)生熱分解吸附在物體表面。當(dāng)半導(dǎo)體的功函數(shù)小于吸附分子的親和力，則吸附分子將從器件奪走電子而變成負(fù)離子吸附；如果半導(dǎo)體的功函數(shù)大于吸附分子的離解能，吸附分子將向器件釋放出電子，而形成正離子吸附。當(dāng)氧化型氣體吸附到n型半導(dǎo)體，還原性氣體吸附到p型半導(dǎo)體上時(shí)，將使半導(dǎo)體載流子減少，而使電阻增大。
納米氧化鎢是一種n型半導(dǎo)體材料，所以常用來吸附氧化型氣體，如氧氣、二氧化氮、一氧化氮等。
