什么是鎢靶材？其又稱為鎢濺射靶材，是一種以純鎢粉為原材料的產(chǎn)品，外觀為銀白色，因有優(yōu)異的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)，而深受眾多領(lǐng)域歡迎。
鎢濺射靶材特點(diǎn)
1）純度高，經(jīng)過(guò)燒結(jié)鍛打后的靶材純度通常可以高于99.95%。一般而言，在其他條件不變情況下，靶材純度純度越高，所制成的鍍膜電性能越好，則相應(yīng)電路越不容易短路或損壞。
2）成本相對(duì)合理，采用粉末冶金直接壓制成型的速度更快，能有效縮短生產(chǎn)周期，進(jìn)而降低成本。
3）密度大，經(jīng)過(guò)燒結(jié)鍛打后的靶材密度可達(dá)到19.1g/cm3以上。
4）偏轉(zhuǎn)力度高，利用超細(xì)純鎢粉末生產(chǎn)的靶材成品的成分與組織結(jié)構(gòu)都較為均勻、一致性較好。
5）熱化學(xué)穩(wěn)定性良好，不易出現(xiàn)體積膨脹或縮收、與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象。
6）電阻低，不會(huì)使電路產(chǎn)生不必要的能量。
此外，它還有高熔點(diǎn)、高彈性、低膨脹系數(shù)、低蒸氣壓、無(wú)毒、無(wú)放射性等特性。
鎢濺射靶材生產(chǎn)工藝
一般采用粉末冶金方法制備。第一，將鎢粉放在真空熱處理爐中進(jìn)行預(yù)脫氣，后導(dǎo)入氫氣，繼續(xù)加熱進(jìn)行脫氣；第二，將脫氣后的鎢粉通過(guò)真空熱壓完成一次燒結(jié)；第三，將一次燒結(jié)后的產(chǎn)品通過(guò)熱等靜壓機(jī)完成二次燒結(jié)；第四，將二次燒結(jié)后的產(chǎn)品通過(guò)機(jī)械加工將整個(gè)表面進(jìn)行磨削處理，即可得到產(chǎn)品。注意：1）鎢粉的純度要達(dá)99.999%以上、粒度在3.2?4.2μm之間。
鎢靶材用途
廣泛應(yīng)用于平面顯示器、太陽(yáng)能電池、集成電路、汽車玻璃、微電子、存儲(chǔ)器、X-射線管、醫(yī)療設(shè)備、熔煉設(shè)備等產(chǎn)品中。
注意：靶材的純度、密度、微觀結(jié)構(gòu)、內(nèi)部質(zhì)量、焊接質(zhì)量、外觀質(zhì)量和幾何尺寸等對(duì)鍍膜好壞有著重要的影響。
