1、什么是六氟化鎢？
六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride）為氟與鎢形成的無機化合物，化學(xué)式WF6。常溫常壓下為無色氣體、有毒、具腐蝕性的氣體，溶于多數(shù)有機溶劑，密度約13g/L（約為空氣的11倍）。它CAS登錄號為：7783-82-6，EINECS號為：232-029-1。
2、六氟化鎢有什么物理化學(xué)性質(zhì)？
（1）它是一種密度最大的氣體，分子量為297.830，熔點為2.3°C，幾乎能夠和所有金屬（除了金和鉑）反應(yīng)。
（2）它遇水分解，在空氣中被潮氣分解而強烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢。
（3）它還是一種強氟化劑，除鎳合金和不銹鋼外，在室溫下能使許多金屬氟化；在干燥狀態(tài)時對玻璃腐蝕較弱，但在濕氣中能迅速反應(yīng)；與離子型鹵化物反應(yīng)可形成配位化合物，在高溫下可被氫還原為鎢。
六氟化鎢圖片
3、六氟化鎢如何生產(chǎn)？
它通常是由氟氣和鎢粉在350至400°C下直接反應(yīng)而成，反應(yīng)式為：W+3F2→WF6
反應(yīng)產(chǎn)生的氣態(tài)產(chǎn)物通過蒸餾與常見雜質(zhì)WOF4分離。在直接氟化的一種變體中，將金屬置于加熱的反應(yīng)器中，略微加壓至1.2至2.0psi（8.3至13.8kPa），把恒定流量WF6注入到少量氟氣中。
反應(yīng)中氟氣可以被替換成ClF、ClF3或BrF3。另一種制備WF6方法是三氧化鎢（WO3）和HF、BrF3或SF4的反應(yīng)。WF6也可以從六氯化鎢開始合成，反應(yīng)式為：
WCl6+6HF→WF6+6HCl
WCl6+2AsF3→WF6+2AsCl3
WCl6+3SbF5→WF6+3SbF3
4、六氟化鎢有什么注意事項？
WF6是腐蝕性極強的化合物，會攻擊任何組織。WF6和濕氣反應(yīng)會產(chǎn)生氫氟酸，所以WF6儲存容器有聚四氟乙烯墊圈。
六氟化鎢圖片
5、六氟化鎢有什么用途？
WF6主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的化學(xué)氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。半導(dǎo)體器件制造行業(yè)通常用WF6化學(xué)氣相沉積來形成鎢膜。
