鎢靶材又稱為鎢濺射靶材，是一典型的純鎢制品，具有純度高，熔點(diǎn)高，密度大，偏轉(zhuǎn)力度高，熱化學(xué)穩(wěn)定性良好，電阻低，無(wú)毒和無(wú)放射性等特性，廣泛應(yīng)用于平面顯示器、太陽(yáng)能電池、集成電路、汽車玻璃、醫(yī)療設(shè)備等產(chǎn)品中。專利號(hào)為CN102513789A的研究者提供一種鎢靶材的制作方法，具體步驟如下：
鎢靶材圖片
提供鎢靶材坯料；對(duì)坯料表面進(jìn)行機(jī)械加工；將機(jī)械加工后的坯料放入真空包套并抽真空，抽真空步驟是通過(guò)脫氣管完成的；對(duì)真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行鍛造；對(duì)鍛造后的真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行壓延；壓延完后，進(jìn)行冷卻并去除真空包套即可。
該生產(chǎn)技術(shù)的注意事項(xiàng)：
1）所述抽真空后，還需對(duì)真空包套進(jìn)行第一次熱處理的步驟：進(jìn)行至溫度為200°C?500°C后，進(jìn)行保溫步驟，加熱及保溫過(guò)程中，持續(xù)抽真空使真空包套內(nèi)的真空度至少為10^-3Pa，之后進(jìn)行對(duì)真空包套內(nèi)的鎢靶材坯料進(jìn)行鍛造步驟。
2）對(duì)真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行鍛造步驟之前還需對(duì)坯料進(jìn)行第二次熱處理。第二次熱處理的溫度900°C?1500°C，并在此溫度下保溫1h?5h。
3）對(duì)真空包套內(nèi)的鎢坯料進(jìn)行鍛造步驟之后和對(duì)鍛造后的真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行壓延步驟之前，還包括對(duì)真空包套內(nèi)的坯料進(jìn)行第三次熱處理。第三次熱處理的溫度900°C?1500°C，并在此溫度下保溫0.8h?1h。
鎢靶材圖片
與現(xiàn)有技術(shù)相比，該生產(chǎn)方法具有以下優(yōu)點(diǎn)：不需要模具，可避免在空氣中對(duì)坯料進(jìn)行加工延展時(shí)出現(xiàn)裂縫和表面易氧化的問(wèn)題，能夠制作出內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)均勻，晶粒大小符合濺射靶材要求的鎢靶材，而且具有易加工、廢品率低的優(yōu)點(diǎn)。
