六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由過渡金屬鎢元素和活潑非金屬氟元素組成的一種無色氣體，是用于微電子學(xué)生產(chǎn)過程中鎢的化學(xué)蒸氣沉積的一種氣源，具有較大的密度、較強(qiáng)的腐蝕性和毒性等特點(diǎn)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的化學(xué)氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。然而，當(dāng)前的生產(chǎn)技術(shù)卻很難生產(chǎn)出高純度WF6。
高純六氟化鎢圖片
為了制備出超高純度（99.9999%）且制造費(fèi)用較低的六氟化鎢產(chǎn)品，專利號(hào)為CN1281823A的研究者提出一種新的生產(chǎn)方法，具體步驟如下：
先將一定量的粗六氟化鎢引入一個(gè)蒸發(fā)過程，用以分離成為一定量的含有揮發(fā)性雜質(zhì)的WF6和一定量的非揮發(fā)性的金屬雜質(zhì)；然后，將該一定量的含有揮發(fā)性雜質(zhì)的WF6通過一個(gè)氣相吸附過程，用以分離成為一定量的半粗WF6產(chǎn)品和一定量的作為被吸附殘余物的氟化氫；最后，將該一定量的半粗WF6送入一個(gè)UHP氣體鼓泡系統(tǒng)，用以分離為非揮發(fā)的高純六氟化鎢產(chǎn)品。
高純六氟化鎢圖片
值得一提的是，粗六氟化鎢一般是純度為99%的WF6，且含有大于1ppmv的氟化氫。另外，UHP氣體鼓泡系統(tǒng)在溫度高于3℃，壓力大于0.5atm下操作，采用脈沖吹掃程序。
該生產(chǎn)技術(shù)的純化是基于蒸發(fā)、氣相活性吸附系統(tǒng)和鼓泡系統(tǒng)的結(jié)合。蒸發(fā)是為了從粗六氟化鎢中除去非揮發(fā)性殘余物。采用的氣相反應(yīng)性吸附床是為了從WF6中除去氟化氫和氟化硅雜質(zhì)。采用的鼓泡系統(tǒng)是為了從產(chǎn)品中除去揮發(fā)性雜質(zhì)。
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