六氟化鎢（WF6）是一種無(wú)機(jī)化合物，常溫常壓下為無(wú)色氣體，主要應(yīng)用在集成電路制造領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)，在化學(xué)氣相沉積工藝中，通過(guò)沉積和堆疊制成大規(guī)模集成電路中的導(dǎo)電膜和金屬配線材料。工業(yè)上常用固定床反應(yīng)器使金屬鎢與氟氣或N3F直接反應(yīng)的方法來(lái)制備WF6，在實(shí)際操作中產(chǎn)物易夾帶鎢粉，很難進(jìn)行連續(xù)生產(chǎn)且反應(yīng)器效率低。為了解決上述的不足，專利號(hào)為CN101428858A的研究者提出了一種新的生產(chǎn)方法，具體步驟如下：
六氟化鎢圖片
1）將氟氣通入預(yù)熱器中預(yù)熱至溫度為50°C~200°C；2）預(yù)熱后氣體進(jìn)入流化床反應(yīng)器中，流化床床內(nèi)溫度為200°C~400°C壓力為0.1~0.5MPa，反應(yīng)器中部連續(xù)加入計(jì)量的鎢粉；3）流化床反應(yīng)器上部得到的粗品六氟化鎢進(jìn)入冷凍收集器或冷凍溫度為-35°C~0°C，收集器頂部抽真空去除其中的氮?dú)?、氟氣、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳和三氟化氮這些不凝性氣體雜質(zhì)；4）步驟3）得到的產(chǎn)物通過(guò)精餾塔精餾除其中的重組分雜質(zhì)后得到高純WF6。
中鎢在線鎢粉圖片
該生產(chǎn)技術(shù)的注意事項(xiàng)包括：氟氣純度在99%以上，其中氟化氫含量在20ppmv以下；鎢粉顆粒度為30~100目，純度在99.95%以上；氟氣預(yù)熱溫度為100°C~150°C。
該工藝所用的流化床，為一空塔反應(yīng)器，下部為主體反應(yīng)段，上部為放大沉降段；反應(yīng)器底部設(shè)置有氣體分布器，鎢粉給料倉(cāng)設(shè)在反應(yīng)器外中部，鎢粉在加料管道中通過(guò)氮?dú)庖詺怏w輸送方式進(jìn)行加料；氟氣給料口設(shè)在鎢粉給料倉(cāng)相對(duì)一側(cè)；反應(yīng)器上部沉降段外設(shè)有冷卻夾套，內(nèi)設(shè)交替使用的兩個(gè)過(guò)濾管，過(guò)濾管配置氮?dú)夥创笛b置。
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