酸化タングステンフィルムは良好なエレクトロクロミック性能を持っているため、スマート窓の生産に使用でき、通常は省エネ建築に使用され、高斷熱、高保溫、省エネ?環(huán)境保護(hù)の目的を?qū)g現(xiàn)する。また、このスマート斷熱窓は眩暈や紫外線を防ぐこともできます。では、三酸化タングステン薄膜を製造する方法を知っていますか。WO3薄膜は化學(xué)蒸著（CVD）法により作製できることが報告されている。
詳細(xì)については、
http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html
化學(xué)蒸著にはプラズマ増強CVD法と気相熱分解法が含まれる。反応源は通常、ヘキサカルボニルタングステン（W（CO）6）またはWF6である。この方法は堆積速度が速く、堆積成分を調(diào)整することができる。一部の専門家はタングステンフィラメントを加熱抵抗と蒸発源として使用し、シリコンウェハ基板上にWO3薄膜を堆積し、ナノ構(gòu)造アレイを形成する。この方法を熱線CVD法と呼ぶ。
