新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液以及其制備工藝
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本發(fā)明公開(kāi)了一種新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液以及其制備工藝。該新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、金屬硝酸鹽、陽(yáng)離子表面活性劑和純水。該蝕刻液制備工藝包括常溫常壓下保持配料罐攪拌器轉(zhuǎn)速，向配料罐中依次加入磷酸、醋酸、硝酸、硝酸鉀、純水和陽(yáng)離子表面活性劑，充分?jǐn)嚢韬笸ㄈ脒^(guò)濾器過(guò)濾制成鉬鋁鉬蝕刻液。
本發(fā)明中的鉬鋁鉬蝕刻液顆粒度小，純度高，對(duì)不同金屬的蝕刻速度基本一致，反應(yīng)穩(wěn)定；調(diào)整硝酸的濃度，使蝕刻速度可控；使用該蝕刻液蝕刻后的基板表面整潔，無(wú)殘留，無(wú)金屬間分層現(xiàn)象，剩余線條平整，蝕刻角度保持在40～60°之間。
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